一、修订背景

    JJG2022-1989《真空计量器具检定系统表》(以下简称“旧检定系统表”)实施至今已有20余年，表中规定的计量基(标)准器具均有了较大的变化。旧检定系统表中规定的真空国家基准已于1995年停用，4套一等标准装置也已停用3套。同时真空技术飞速发展，真空仪表的测量准确度也比20年前有了较大提高，例如旧检定系统表中二等标准真空计的准确度多为10%，而近几年出现了很多高精度仪表，厂家说明书给出的准确度为0.5%～0.05%。因此，旧检定系统表制定的量传方式与目前可行的量传方式有着很大的差异。结合真空系统及仪表的发展，全国压力计量技术委员会对旧检定系统表进行了修订。
    JJG2022-2009《真空计量器具检定系统表》(以下简称“新检定系统表”)于2009年7月30日经国家质检总局颁布，并自2010年1月30日起施行。
    

二、新旧检定系统表内容对比解析

    1.范围
    旧检定系统表基准范围为(5×10^-3～1×10⁵)Pa，而标准范围为(10^-8～10³)Pa。修订后基准和标准的范围均为(1×10^-4～1×10⁵)Pa，解决了计量标准在部分范围内无法向基准溯源的问题。
    2.计量基准器具
    (1)原真空国家基准(压缩式真空计装置)已于1995年停用，国内也很少有压缩式真空装置在使用，而国际上大多用膨胀装置作为这一范围的国家标准。因此，本次修订将(1×10^-4～1×10²)Pa范围的真空国家基准定为静态膨胀法真空装置。
    (2)旧检定系统表将液体压力计定为(5×10²～1×10⁵)Pa的国家基准，但液体压力计也已停用多年，尚未有恢复计划，并且未能申请成为国家基准。在这一范围段，新检定系统表将目前已经建立的活塞式压力计作为国家基准。
    3.计量标准器具
    (1)旧检定系统表中标准器具分为一等和二等，可溯源至其他物理量的绝对装置为一等，必须溯源至真空量值的相对仪表为二等。新检定系统表打破了此种等级划分方法，装置以不确定度表示，仪表以最大允差表示，不再规定等级，但进行量值传递应满足三倍原则。在国内，用于测量大气压以下的液体压力计已经很少再进行量值传递，故取消旧检定系统表计量标准器具中的液体压力计装置。新检定系统表标准器具共有三类装置，下面将分别作出说明。
    (2)目前，国内有很多计量部门还在用静态膨胀法真空标准装置作为标准器具对外开展服务。膨胀装置是可溯源至其他物理量的绝对法装置，有两种溯源方式:一是直接溯源至基本物理量；二是利用传递标准器通过间接比较法溯源至静态膨胀法真空基准装置。由于第二种方法受到传递标准稳定性的限制，使得膨胀装置的不确定度在测量下限不可能优于1%。但如果溯源至体积、温度和压力，则可以评定出更小的不确定度，这种方法适用于不确定度非常小的膨胀装置，使其不确定度评定不再受到传递标准的限制。
    (3)真空标准器具应用最多的是比较法真空标准装置，该装置测量范围宽，可覆盖系统表全范围。国际上也推荐计量部门使用该装置，并制定了相应的ISO标准。
    比较法真空标准装置是一套能够调节压力的真空系统，量值来源于所安装的标准真空计。标准真空计包括电离真空计、磁悬浮真空计和薄膜真空计。标准真空计的量值由真空基准器具或膨胀法真空标准装置传递。
    旧检定系统表规定薄膜真空计最大允差为±10%，而厂家说明书中一般为±(0.5%～0.05%)。本次修订后将其分为±0.1%和±0.5%两类，其中±0.1%的薄膜真空计可用于国内比对、标准装置考核等，±0.5%的薄膜真空计仅可作为标准对工作用器具进行量值传递。
    旧检定系统表规定磁悬浮转子真空计(磁悬规、黏滞规)的最大允差为±10%，而厂家说明书给出在(1×10^-4～1)Pa之间修正后为±1%，新检定系统表依据说明书将其定为±1%。
    (4)压缩式真空计目前在市场上还有一定份额，故新检定系统表还保留压缩式真空计的量传方式。由于压缩式真空计测量的是分压力而且有汞蒸气污染，不能直接溯源至真空基准。压缩式真空计是一种绝对装置，其量值可以直接由质量、长度等基本量传递，故建立一套量值可以溯源至基本量的标准压缩式真空计装置，可实现对工作用压缩式真空计的量值传递。
    4.工作用计量器具
    (1)压缩式真空计
    工作用压缩式真空计测量的是分压力，而且使用汞作为介质，可通过压缩式真空计标准装置对其进行量值传递。
    (2)电离真空计
    电离真空计包括冷阴极电离真空计(潘宁规)和热阴极电离真空计，由比较法真空标准装置进行量值传递，标准仪表通常选用磁悬浮转子真空计或标准电离真空计。由于受真空基准测量范围的限制，目前能够对电离真空计进行量值传递的下限为1×10^-4Pa。
    (3)热导式真空计
    热导式真空计包括电阻真空计(皮拉尼真空计)和热偶真空计，由比较法真空标准装置进行量值传递，标准仪表通常选用薄膜真空计。
    (4)压阻真空计
    压阻真空计由比较法真空标准装置进行量值传递，标准仪表通常选用薄膜真空计。
    (5)电容薄膜真空计
    电容薄膜真空计由比较法真空标准装置进行量值传递，标准仪表通常选用薄膜真空计。
    5.检定系统表框图
    在真空计量器具检定系统表框图中，给出了量值传递的方式。其中，静态膨胀法真空标准装置既可以通过传递标准器由真空基准进行量值传递，也可以通过测量温度、体积、压力直接将量值溯源至基本量。比较法真空标准装置的量值来源于标准真空计，通过直接比较法由基准或膨胀法真空标准装置对标准真空计进行量值传递。压缩式真空计标准装置是通过测量长度、体积、密度直接将量值溯源至基本量。
    新检定系统表制定的计量基(标)准器具均采用目前对外开展服务的基(标)准装置，给出了合理的量值传递方式，如图1所示。